HEPA & ULPA過(guò)濾器的構(gòu)造。Fig 6. 分離式過(guò)濾器Fig 7. 一體式過(guò)濾器Fig 5. 包裝物粘合成過(guò)濾網(wǎng)外框----外框與氣密墊片組裝成最終過(guò)濾箱體，Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to formfinalassembly，HEPA/ULPA 過(guò)濾器是專門(mén)為去除多種空氣中的
HEPA過(guò)濾器圖冊(cè)(2張)污染成分而設(shè)計(jì)的，可以去除的。成分包括：標(biāo)準(zhǔn)粉塵卷煙煙氣細(xì)菌（細(xì)菌大?。?00到0.3微米）煤灰花粉放射性微粒雜質(zhì)離子-〉會(huì)影響到集成電路的速度。
HEPA & ULPA 過(guò)濾器
HEPA: 高效空氣凈化器的縮寫(xiě)（High efficiency particulate air Filter；
HEPA: 對(duì)直徑為0.3微米微粒99.99%的過(guò)濾效率；
ULPA: 超低空氣泄漏；
ULPA: 對(duì)直徑為0.12微米微粒99.999%的過(guò)濾效率
A 高效率屬於顆?？諝?或 HEPA (IPA:/?h?p?/)過(guò)濾器是類型的高效率空氣過(guò)濾器.
作用
HEPA過(guò)濾器可能去除至少97.00%空中微粒0.3測(cè)微表(μm)直徑。 這大小微粒是最難過(guò)濾和因而被認(rèn)為 多數(shù)滲透的微粒大小 (MPPS)。 是更大的微粒 或更小 過(guò)濾以高效率。
HEPA過(guò)濾器由任意地被安排的纖維席子組成。 影響作用的關(guān)鍵度規(guī)是纖維密度和直徑和過(guò)濾器厚度。 空域在HEPA過(guò)濾器纖維之間是大於0.3 μm。 共同的假定HEPA過(guò)濾器行動(dòng)像a篩子那里微粒小於******的開(kāi)頭可能通過(guò)是不正確的。 至於為膜濾器微粒很大他們是一樣寬的像纖維之間的******的開(kāi)頭或距離不可能在他們之間根本通過(guò)。 但HEPA過(guò)濾器被設(shè)計(jì)瞄準(zhǔn)更小的污染物，并且微粒由以下三個(gè)機(jī)制之一主要困住(他們堅(jiān)持纖維) ：
攔截微粒從事流線在空氣小河來(lái)臨在纖維的一條半徑范圍內(nèi)并且遵守它的地方。裝緊更大的微粒無(wú)法通過(guò)跟隨空氣小河的彎曲的等高的地方避免纖維和被迫在他們中的一個(gè)中直接地埋置; 這增加以減少的纖維分離和更高的氣流速度。擴(kuò)散一個(gè)改進(jìn)機(jī)制是碰撞的結(jié)果與氣體分子由最小的顆粒，特別是那些在直徑的0.1 μm以下，從而在他們的道路被妨礙并且被延遲穿過(guò)過(guò)濾器; 這行為是相似的蘇格蘭的植物學(xué)家Robert Brown的行動(dòng)并且培養(yǎng)可能性微粒將路過(guò)二個(gè)機(jī)制之一上面; 它變得統(tǒng)治在更低的氣流速度。擴(kuò)散在0.1 μm直徑微粒大小之下占優(yōu)勢(shì)。 裝緊和攔截在0.4 μm之上占優(yōu)勢(shì)。 在之間，在0.3 μm MPPS附近，擴(kuò)散和攔截占優(yōu)勢(shì)。
